特許
J-GLOBAL ID：201703019863863229
横回転アーク陰極を備えるグロー放電装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (13件)：
奥山 尚一
, 有原 幸一
, 松島 鉄男
, 河村 英文
, 中村 綾子
, 森本 聡二
, 角田 恭子
, 田中 祐
, 徳本 浩一
, 渡辺 篤司
, 児玉 真衣
, 水島 亜希子
, 増屋 徹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-509674
特許番号：特許第6170039号
出願日： 2012年05月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 物理気相成長法によってサンプル又は基板上にコーティングを堆積する装置であって、
反応性ガス及び不活性ガスの注入口を備えるコーティング装置の真空チャンバと、
前記コーティング装置の残りの部分から直流電気的に分離され、電流供給源(11)の正極に選択的に接続される第1の回転電極(1)と、
前記コーティング装置の残りの部分から直流電気的に分離され、低電圧アーク源(9)の負極に接続される第2の回転電極(2)と
を含んでなり、
前記第1の回転電極(1)及び前記第2の回転電極(2)のそれぞれは回転シールド(4)を備え、
前記装置は高電圧供給源(12)を更に含み、該高電圧供給源の負極は前記サンプル又は前記基板に接続され、前記第2の回転電極はアークによって消費され、前記電流供給源(11)の負極は、前記コーティング装置の前記真空チャンバに接続され、前記低電圧アーク供給源(9)の正極は、前記コーティング装置の前記真空チャンバに接続され、前記高電圧供給源(12)の正極は、前記コーティング装置の前記真空チャンバに接続され、前記第2の回転電極(2)の前記回転シールドは、前記電極上でアーク燃焼中に前記サンプル又は前記基板に対して前記電極をシールドするものであり、前記第1の回転電極(1)の前記回転シールドは、アーク燃焼中に前記サンプル又は前記基板に対して前記電極をシールドしないものであり、前記サンプル又は前記基板上にコーティングを堆積するのに使用可能であり、前記電流供給源の前記正極に接続される前記第1の回転電極(1)は、別の低電圧アーク供給源(10)の負極に択一的に再接続可能であり、前記サンプル又は前記基板上にコーティングを堆積するのに使用可能である、装置。
IPC (2件)：
C23C 14/24 ( 200 6.01)
, H05H 1/48 ( 200 6.01)
C23C 14/24 F
, H05H 1/48
, C23C 14/24 G
, C23C 14/24 R
