特許

J-GLOBAL ID：201703019974956951

MEMSガスセンサ、MEMSガスセンサ実装体、MEMSガスセンサ・パッケージ、MEMSガスセンサ組立体、及びMEMSガスセンサの製造方法

発明者： 木村 哲平
出願人/特許権者： NISSHA株式会社
代理人 (2件)： 吉田 新吾 ,  渡辺 尚
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-114492
公開番号（公開出願番号）：特開2017-219441
出願日： 2016年06月08日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
要約：

【課題】MEMSガスセンサを収容するパッケージを小型化する。【解決手段】MEMSガスセンサ1は、ベース3と、感ガス材33と、電極配線パターン29とを有している。ベース3は、キャビティ3cを有する。感ガス材33は、キャビティ3cの底面に設けられている。電極配線パターン29は、感ガス材33に接続されている。電極配線パターン29は、ベース3の底面と反対側に露出した電極パッド28を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

キャビティを有する絶縁体と、 前記キャビティの底面に設けられた感ガス材と、 前記感ガス材に接続され、前記絶縁体の前記底面と反対側に露出した端部を有する電極と、 を備えたMEMSガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N27/12 B

Fターム (2件)：

2G046BB02 ,  2G046BE03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• センサチップ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-186319   出願人：センシリオンアクチエンゲゼルシャフト
• 多階層構造を有する化学抵抗器型ガス・センサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2014-514095   出願人：アルファモスエス.アー., セントレナショナルデラリシェルシェサイエンティフィック