特許

J-GLOBAL ID：201703020126966880

MEMSセンサ

発明者： 寒川 雅之
出願人/特許権者： 国立大学法人 新潟大学
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  齋藤 恭一 ,  阿部 拓郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-087138
公開番号（公開出願番号）：特開2017-198472
出願日： 2016年04月25日
公開日（公表日）： 2017年11月02日
要約：

【課題】複数の計測回路の切り替えを必要とせずに近接覚計測及び触覚計測を行うことができるMEMSセンサを提供する。【解決手段】視覚計測及び触覚計測用のMEMSセンサ1、1’であって、透光性弾性部材4と、透光性弾性部材4に埋め込まれた少なくとも1つの検知素子5、5’と、を有し、検知素子5、5’は、半導体層52上に絶縁層53を介して設けられた2つの端子54A、54Bと、半導体層52に端部が接続され、透光性弾性部材4に対する物体の接触に応じて変形するカンチレバー55と、カンチレバー55上に設けられ、2つの端子54A、54Bに各端部が接続されたひずみゲージ56と、を備え、半導体層52とひずみゲージ56に交流電圧又は直流電圧の一方を印加することで、近接及び接触力を検知することを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

近接覚計測及び触覚計測用のMEMSセンサであって、 透光性弾性部材と、 前記透光性弾性部材に埋め込まれた少なくとも1つの検知素子と、 を有し、前記検知素子は、 半導体層上に絶縁層を介して設けられた2つの端子と、 前記半導体層に端部が接続され、前記透光性弾性部材に対する物体の接触に応じて変形するカンチレバーと、 前記カンチレバー上に設けられ、前記2つの端子に各端部が接続されたひずみゲージと、を備え、 前記半導体層と前記ひずみゲージに交流電圧又は直流電圧の一方を印加することで、近接及び接触力を検知する、MEMSセンサ。

IPC (3件)：

G01D 21/02 ,  G01L 5/16 ,  G01L 1/18

FI (3件)：

G01D21/02 ,  G01L5/16 ,  G01L1/18 A

Fターム (12件)：

2F051AA10 ,  2F051AB10 ,  2F051BA05 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03 ,  2F076BA01 ,  2F076BD01 ,  2F076BD05 ,  2F076BD10 ,  2F076BE01 ,  2F076BE02 ,  2F076BE17