デバイス、露光装置および放射誘導方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：森下賢樹 , 青木武司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-558046
特許番号：特許第6042457号
出願日： 2013年01月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】自身を通過する放射に対して透明な物質の連続体の形状を成す導波路であって、前記連続体が入射面および出射面を有する導波路と、前記入射面および/または前記出射面を冷却するよう構成された冷却器であって、前記入射面および/または前記出射面を冷却する液体と、前記液体を保持するためのキャップと、を備える冷却器と、加圧下で前記液体を保持するよう構成された加圧器と、を備え、前記加圧器は、前記キャップ内でフレキシブルな膜により前記液体から分離されたガスポケットと、前記ガスポケット中のガスを加圧するよう構成されたコンプレッサと、を備えることを特徴とするデバイス。

IPC (2件)：