特許
J-GLOBAL ID：201703020248170335
強誘電体膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 千惠子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-026314
公開番号（公開出願番号）：特開2014-154863
特許番号：特許第6119288号
出願日： 2013年02月14日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 強誘電体膜の形成方法であって、
(1)強誘電体膜の原料である前駆体溶液を塗布して前駆体膜を成膜する塗布工程と、
(2)所定の乾燥温度(T0)まで、10°C/秒以下の昇温速度で昇温しながら加熱して前記前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、
(3)強誘電体膜の強誘電体膜特性に影響を与えない所定の温度(T11)まで、20°C/秒以下の昇温速度で昇温しながら加熱する熱分解第一の加熱工程と、
(4)前記熱分解第一の加熱工程に続いて、所定の熱分解温度(T12)まで、50°C/秒以上の昇温速度で昇温しながら加熱する熱分解第二の加熱工程と、
(5)前記(1)乃至(4)の工程を少なくとも1回繰り返し、所望する膜厚の非晶質の強誘電体膜を形成する第一の積層工程と、
(6)強誘電体膜の強誘電体膜特性に影響を与えない所定の温度(T21)まで、20°C/秒以下の昇温速度で昇温しながら加熱する結晶化第一の加熱工程と、
(7)前記結晶化第一の加熱工程に続いて、所定の熱分解温度(T22)まで、50°C/秒以上の昇温速度で昇温しながら加熱する結晶化第二の加熱工程と、
(8)前記結晶化第二の加熱工程に続いて、所定の結晶化温度まで(T3)まで、50°C/秒以上の昇温速度で昇温しながら加熱する結晶化第三の加熱工程と、
(9)前記(1)乃至(8)の工程を少なくとも1回繰り返し、所望する膜厚の結晶質の強誘電体膜を形成する第二の積層工程と、
を含むことを特徴とする強誘電体膜の形成方法。
IPC (8件)：
H01L 41/318 ( 201 3.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 21/316 ( 200 6.01)
, C01G 25/00 ( 200 6.01)
, B41J 2/045 ( 200 6.01)
, B41J 2/135 ( 200 6.01)
, B41J 2/14 ( 200 6.01)
, B41J 2/16 ( 200 6.01)
H01L 41/318
, H01L 41/09
, H01L 21/316 G
, C01G 25/00
, B41J 2/045
, B41J 2/135
, B41J 2/14 301
, B41J 2/14 305
, B41J 2/14 613
, B41J 2/16 301
, B41J 2/16 305
, B41J 2/16 517
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (1件)
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圧電体膜および圧電素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-145101
出願人：富士フイルム株式会社
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