特許
J-GLOBAL ID:201703020735672826

保持部材

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-242009
公開番号(公開出願番号):特開2015-101496
特許番号:特許第6141756号
出願日: 2013年11月22日
公開日(公表日): 2015年06月04日
請求項(抜粋):
【請求項1】 Mn、Fe、Crを含むアルミナ質焼結体からなり、該アルミナ質焼結体を構成する全成分100質量%のうち、AlをAl2O3換算した含有量が85質量%以上90質量%以下であり、MnをMnO2換算、FeをFe2O3換算、CrをCr2O3換算した値の合計に対するCr2O3換算した値の割合が50%以上80%以下であり、表面粗さRaが0.1μm以上1.8μm以下であることを特徴とする保持部材。
IPC (2件):
C04B 35/117 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (2件):
C04B 35/117 ,  H01L 21/30 503 E
引用特許:
出願人引用 (6件)
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