特許

J-GLOBAL ID：200903079278620612

露光用保持治具

発明者： 建野 範昭 ,  田中 貴広 ,  今井 修 ,  岡崎 泰三
出願人/特許権者： 東陶機器株式会社 ,  日本アイ・ティ・エフ株式会社
代理人 (1件)： 下田 容一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276827
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139168
出願日： 1994年11月10日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】 表面が鏡面状態でも光の反射を低く抑えることができる真空チャック等の露光用保持治具を提供する。【構成】 真空チャック1の本体4にAl2O3からなるセラミック焼結体を用い、本体4の表面にセラミック薄膜層5を形成し、この薄膜層5の内部層5aをSiCとし、表面層5bをAl2O3からなる透明セラミック膜としている。

請求項（抜粋）：

板状をなす透明被処理物を露光する際に保持する治具において、前記治具の本体はセラミック焼結体から構成され、また前記被処理物を載置する治具の本体表面には表面反射率を低くするためのセラミック薄膜層が形成されていることを特徴とする露光用保持治具。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板保持盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-038624   出願人：キヤノン株式会社
• 露光装置の基板チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-072688   出願人：ソニー株式会社
• 特開平2-030159