セルフコンディショニング研磨パッドおよびその作製方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：山本秀策 , 森下夏樹 , 飯田貴敏 , 石川大輔 , 山本健策
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-501730
特許番号：特許第6078631号
出願日： 2013年03月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】不溶性ポリマーフォーム母材と、複数のコーティングされた粒子とを含み、前記複数のコーティングされた粒子がそれぞれ、水溶性成分でコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子を含む、研磨パッド。

IPC (3件)：