特許

J-GLOBAL ID：201703020824734673

ドライ真空ポンプ装置

発明者： 岩崎 弘一 ,  中澤 敏治 ,  吉田 真也 ,  大山 敦
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (3件)： 渡邉 勇 ,  小杉 良二 ,  廣澤 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-222878
公開番号（公開出願番号）：特開2014-074380
特許番号：特許第6050081号
出願日： 2012年10月05日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 少なくとも1つのポンプユニットと、 前記ポンプユニットを制御する制御装置と、 前記ポンプユニットの温度を測定する少なくとも1つの温度センサとを備えたドライ真空ポンプ装置であって、 前記ポンプユニットは、 ドライ真空ポンプと、 前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、 前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、 前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、 前記制御装置は、前記温度センサによって測定された前記温度が所定のしきい値を超えると、前記インバータの出力電流制限値を前記第2の電流制限値から前記第1の電流制限値に切り替えることを特徴とするドライ真空ポンプ装置。

IPC (3件)：

F04C 25/02 ( 200 6.01) ,  F04C 28/06 ( 200 6.01) ,  F04C 28/28 ( 200 6.01)

FI (4件)：

F04C 25/02 B ,  F04C 28/06 B ,  F04C 28/28 A ,  F04C 28/28 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• モータ制御システム及び該モータ制御システムを搭載した真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-318761   出願人：BOCエドワーズ株式会社
• 真空ポンプシステム、及びその運転方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-220908   出願人：株式会社荏原製作所