特許
J-GLOBAL ID：201103067898599192
真空ポンプシステム、及びその運転方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
熊谷 隆
, 高木 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-220908
公開番号（公開出願番号）：特開2011-069293
出願日： 2009年09月25日
公開日（公表日）： 2011年04月07日
要約：
【課題】噛み込み等によるドライ真空ポンプが過負荷となり、駆動する電動機に供給する電力容量が大きくなった場合でも、真空ポンプシステム全体として必要な電力容量を増加させることなく、過負荷を解消することができる真空ポンプシステム、及びその運転方法を提供することを目的とする。【解決手段】ドライ真空ポンプを複数台備え、各ポンプを駆動する電動機にはインバータ装置INVMP、INVBPから駆動電力を供給し、且つポンプロータに過負荷がかかった場合にインバータ装置から電動機に定格電流の数倍を上限とした最大電流を供給できるようになっている真空ポンプシステムにおいて、メインポンプMP又はブースタポンプBPが過負荷となった場合、電力消費部へ供給する電力を遮断、及び/又は過負荷となっていない真空ポンプの電動機に供給する電力を制限し、該過負荷になった真空ポンプの電動機に優先して電力を供給する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ロータケーシング内に一対のポンプロータを備え、各々1本の回転軸を有する2軸容積型のドライ真空ポンプを複数台備え、各ドライ真空ポンプの回転軸の少なくとも1つは電動機で回転駆動されるようになっており、該電動機にはインバータ装置から駆動電力を供給し、且つ前記ポンプロータに過負荷がかかった場合に前記インバータ装置から前記電動機に該電動機の定格電流の数倍を上限とした最大電流を供給できるようになっており、更に前記複数台の電動機以外に電力を消費する電力消費部を備えた真空ポンプシステムにおいて、
前記複数台のドライ真空ポンプ内のいずれかのポンプロータに過負荷がかかった場合、前記電動機以外の電力消費部へ供給する電力を遮断或いは制限、及び/又は前記複数台のドライ真空ポンプ内のポンプロータに過負荷がかかっていないドライ真空ポンプを駆動する電動機に供給する電力を制限し、該ポンプロータに過負荷がかかったドライ真空ポンプを駆動する電動機に優先して電力を供給し、前記過負荷が解消された後には元の電力供給状態に復帰する電力制御手段を設けたことを特徴とする真空ポンプシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
3H129AA03
, 3H129AA16
, 3H129AB06
, 3H129AB11
, 3H129BB41
, 3H129CC51
, 3H129CC61
