切削ブレード先端形状検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：特許業務法人東京アルパ特許事務所 , 川村恭子 , 佐々木功 , 久保健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-148351
公開番号（公開出願番号）：特開2015-020226
特許番号：特許第6219628号
出願日： 2013年07月17日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】切削ブレードの先端形状を検出する切削ブレード先端形状検出方法であって、被加工物の厚み方向に切り残し部が形成されるように所定幅を有する切削ブレードで被加工物を切削して該切削ブレードの幅に対応する幅を有する切削痕を形成する切削痕形成ステップと、該切削痕の幅方向に伸長する帯状レーザービームを該切削痕に照射し、該切削痕の底で反射した反射光をもとに該底の凹凸を検出する凹凸検出ステップと、を備え、該凹凸検出ステップで検出された該切削痕の該底の凹凸を該切削ブレードの先端端面形状とする切削ブレード先端形状検出方法。

IPC (3件)：