特許
J-GLOBAL ID:201703021235235680
反射防止膜を備えた光学部材およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
特許業務法人太陽国際特許事務所
, 柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-054850
公開番号(公開出願番号):特開2014-098885
特許番号:特許第6189612号
出願日: 2013年03月18日
公開日(公表日): 2014年05月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 透明基材の表面に、透明薄膜層、アルミナの水和物を主成分とする透明な微細凹凸層をこの順に備えてなる反射防止膜を備えた光学部材であって、
前記透明薄膜層が、前記基材側からアルミナ層と、該アルミナ層よりも低い屈折率を有し、かつ該アルミナ層に対する水をバリアする水バリア層と、該水バリア層よりも低い屈折率を有し、アルミナの水和物を主成分とする平坦層とを順に備えてなり、
前記水バリア層の厚みが70nm以下であり、
前記水バリア層が、単層もしくは複数の層からなり、そのうち少なくとも一層は、シリコン酸窒化物、ランタン弗化物または前記アルミナ層よりも低い屈折率を有するガリウム酸化物のいずれかからなる層であることを特徴とする光学部材。
IPC (6件):
G02B 1/118 ( 201 5.01)
, G02B 1/115 ( 201 5.01)
, B32B 3/30 ( 200 6.01)
, B32B 9/00 ( 200 6.01)
, B32B 7/02 ( 200 6.01)
, C03C 17/34 ( 200 6.01)
FI (6件):
G02B 1/118
, G02B 1/115
, B32B 3/30
, B32B 9/00 A
, B32B 7/02 103
, C03C 17/34
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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