特許
J-GLOBAL ID:201203075792577300
光学部材、その製造方法及び光学系
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-170287
公開番号(公開出願番号):特開2012-073590
出願日: 2011年08月03日
公開日(公表日): 2012年04月12日
要約:
【課題】安定した反射防止性を長期間維持できる光学部材、その製造方法およびそれを用いた光学系を提供する。【解決手段】光線有効部2と非光線有効部3からなる光学部材において、前記光線有効部2及び少なくとも非光線有効部3の一部に亘って連続的に少なくとも一層の保護膜4が形成され、前記非光線有効部3に形成された保護膜4上に遮光膜6が形成され、且つ前記光線有効部2に形成された保護膜4上に、表面に凹凸構造を有する酸化アルミニウムを主成分とする板状結晶膜5bが形成されている光学部材およびそれを用いた光学系。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光線有効部と非光線有効部からなる光学部材であって、
基材上に、前記光線有効部及び少なくとも非光線有効部の一部に亘って連続的に形成された少なくとも一層の保護膜と、
前記非光線有効部に形成された保護膜上に形成された遮光膜と、
前記光線有効部に形成された保護膜上に形成された表面に凹凸構造を有する酸化アルミニウムを主成分とする板状結晶膜を有することを特徴とする光学部材。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
2K009AA01
, 2K009CC03
, 2K009DD02
, 2K009DD03
, 2K009DD12
引用特許:
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