特許
J-GLOBAL ID：201703021240878823
皮膜付き基材、プラズマエッチング装置用部品およびそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
右田 俊介
, 高橋 政治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-062012
公開番号（公開出願番号）：特開2017-172021
出願日： 2016年03月25日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：
【課題】耐プラズマ性が高く、剥がれ難く、耐酸性に優れ、表面抵抗値が高い溶射皮膜を基材の表面に有する皮膜付き基材の提供。【解決手段】基材の表面上に皮膜を備える皮膜付き基材であって、前記皮膜は、厚さが10〜1000μmであり、希土類元素(Ln)のフッ化物および酸化物を主成分として含み、前記皮膜の表面において、希土類元素(Ln)の酸化物を主成分とし、単斜晶構造を備え、特定直径の粒子状部分[α]と、希土類元素(Ln)のフッ化物を主成分とし、斜方晶構造を備え、特定直径の粒子状部分[β]とが、希土類元素(Ln)のフッ化物を主成分とするアモルファスのマトリックス中に分散して存在しており、さらに、前記皮膜の表面について光学顕微鏡を用いて観察すると、白色のシミ状部分が確認され、このシミ状部分が観察視野内に占める面積率が低い、皮膜付き基材。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材の表面上に皮膜を備える皮膜付き基材であって、
前記皮膜は、厚さが10〜1000μmであり、希土類元素(Ln)のフッ化物および酸化物を主成分として含み、
前記皮膜の表面において、希土類元素(Ln)の酸化物を主成分とし、単斜晶構造を備え、直径が10nm〜1μmの粒子状部分[α1]と、希土類元素(Ln)のフッ化物を主成分とし、斜方晶構造を備え、直径が10nm〜1μmの粒子状部分[β1]とが、希土類元素(Ln)のフッ化物を主成分とするアモルファスのマトリックス中に分散して存在しており、
さらに、前記皮膜の表面について光学顕微鏡を用いて200倍で観察すると、最大直径が50〜1000μmである白色のシミ状部分が確認され、このシミ状部分が観察視野内に占める面積率が0.01〜2%である、皮膜付き基材。
IPC (5件)：
C23C 4/04
, C23C 4/134
, C23C 4/129
, C04B 41/87
, B32B 9/00
C23C4/04
, C23C4/134
, C23C4/129
, C04B41/87 J
, B32B9/00 A
4F100AA05A
, 4F100AA06A
, 4F100AA17A
, 4F100AA18A
, 4F100AB10
, 4F100AT00B
, 4F100BA02
, 4F100BA07
, 4F100EH56A
, 4F100GB51
, 4F100JA11A
, 4F100JB01
, 4F100JG00
, 4F100JG04
, 4F100JK06
, 4F100YY00A
, 4K031AA03
, 4K031AB02
, 4K031CB50
, 4K031DA01
, 4K031DA04
, 4K031GA01
