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J-GLOBAL ID：201706016480169657

リモートプラズマ生成

プラズマ
同義語 (1件)：

リモートプラズマ (remote plasma)
リモートプラズマについて
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関連語 (3件)：

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上位語 (1件)：

プラズマ生成 (plasma production)
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