研究者

J-GLOBAL ID：201801014035679544 更新日: 2024年10月01日

道畑正岐

ミチハタマサキ | MICHIHATA Masaki

所属機関・部署：
職名：准教授
ホームページURL (1件)： https://sites.google.com/view/masakimichihata/

研究分野 (1件)：加工学、生産工学

研究キーワード (6件)：光共振計測 , 長さ計測 , オンマシン計測 , インプロセス計測 , 幾何形状計測 , 超精密計測

競争的資金等の研究課題 (24件)：

2023 - 2026 3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測
2022 - 2025 次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発
2022 - 2024 破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立
2021 - 2023 1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法
2020 - 2023 質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測

2019 - 2022 ミューオンg-2/EDM精密測定のための検出器アライメントモニターの開発

2019 - 2022 動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測

2019 - 2021 空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦

2018 - 2020 微小球共振原理を用いたマイクロスケール3次元形状標準計測の原理確立への挑戦

2017 - 2020 光放射圧ポテンシャルによる局所化を用いたサブ100nm分解能金属3次元構造創成

2018 - 2019 細径光ファイバ直径の高速インプロセス計測技術の開発

2015 - 2019 複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発

2015 - 2017 切削油蛍光プローブによる工具刃先形状のオンマシン計測

2015 - 2017 光共振波長スペクトルに基づくマイクロ球形状のナノメートル精度計測

2014 - 2016 超微細パルスレーザー加工過程におけるナノ局所界面温度・物性の選択的ラマン計測

2013 - 2016 時間分解コヒーレントフォノン制御を用いた表面原子のインプロセスナノ加工・計測

2012 - 2016 その場計測制御による超高アスペクト比微細形状のフォトニック・ナノジェット加工

2012 - 2014 蛍光ナノプローブを用いた微量サンプルの超精密粘度計測技術の開発

2012 - 2014 局在・伝搬型表面プラズモン励起ラマン計測による反応性ナノ粒子研磨プロセスの可視化

2012 - 2014 球内周回光伝搬モード観測によるマイクロ球形状のスキャンレス計測

2010 - 2011 微小球共振器を用いた3次元微細形状計測用マイクロプローブに関する研究

2009 - 2011 デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究

2009 - 2011 フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工

2008 - 2009 レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元座標計測に関する研究

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論文 (72件)：

Masaki Michihata, Souki Fujimura, Shuzo Masui, Satoru Takahashi. Concept of error compensation for non-orthogonality in two-axis displacement measurement system utilizing single grating scale and Littrow configuration. Journal of Manufacturing Science and Engineering. 2024. 1-26
Ryo Sato, Kuangyi Li, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Wei Gao. Advanced Sensing and Machine Learning Technologies for Intelligent Measurement in Smart and Precision Manufacturing. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 4. 545-580
Masaki Michihata, Shuhei Goda, Shuzo Masui, Satoru Takahashi. Longitudinal Mode Number Estimation of External Cavity Diode Laser Using Dual Periodic Grating for Optical Profiler System. Sensors. 2024. 24. 12. 3821-3821
Motoya Yoshikawa, Saeko Fujii, Shotaro Kadoya, Tatsuya Sugihara, Masaki Michihata, Satoru Takahashi. Fluorescence-Based Calibration Model for In-Situ Measurement of Micro-scaled Lubricant Thickness Distribution at Indentation Interface. Nanomanufacturing and Metrology. 2024. 7. 1
Ryohei Omine, Shuzo Masui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi. Manipulation of large, irregular-shape particles using contour-tracking optical tweezers. Optics Letters. 2024. 49. 10. 2773-2773

特許 (9件)：

書籍 (2件)：

Bilingual edition 精密計測学 Precision Metrology
朝倉書店 2024 ISBN:4254201788
Optical micro-CMM, Metrology (Precision Manufacturing series)
Springer 2019

講演・口頭発表等 (15件)：

先端加工技術のためのナノインプロセス計測
(NMIJ 計測クラブ長さクラブ・CMM ユーザーズクラブ合同講演会 2024)
Laser Induced Fluorescence (LIF)を用いた三次元形状計測への新たな展開
(将来技術研究会(ATOM) 2024)
ナノ形状計測における表面位置センシングの重要性と新たな試み
(精密工学会知的ナノ計測専門委員会総会特別講演 2024)
Diameter Measurement of sub-micrometer optical fiber based on interference signal of Mie scattered light
(International Symposium on Optomechatronic Technology (ISOT) 2023 2023)
Ultra-sensitive optical resonance in micro-sphere used for dimensional measurement
(International Congress on Pure & Applied Chemistry (ICPAC) 2022)

学歴 (6件)：

2007 - 2010 大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻博士課程
2004 - 2007 大阪大学大学院工学研究科機械システム工学専攻修士課程
2005 - 2005 Delft University of Technology (TU Delft) 交換留学
2004 - 2005 Technical University of Denmark (DTU) 交換留学
2002 - 2004 大阪大学工学部応用理工学科

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学位 (1件)：

博士(工学) (大阪大学)

経歴 (5件)：

2019/04 - 現在東京大学工学系研究科精密工学専攻准教授
2015/04 - 2019/03 東京大学先端科学技術研究センター助教
2010/04 - 2015/03 大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻助教
2013/10 - 2014/01 National Physical Laboratory (NPL), Guest worker
2008/04 - 2010/03 日本学術振興会特別研究員(DC2)

委員歴 (25件)：

2024/04 - 現在精密工学会学術交流委員
2024/04 - 現在精密工学会会誌編集委員
2023/04 - 現在砥粒加工学会校閲委員会幹事
2022/04 - 現在精密工学会校閲委員会分野幹事
2020/04 - 現在将来技術研究会(ATOM) 幹事

2020/04 - 現在文部科学省科学技術・学術政策研究所専門調査員

2017/07 - 現在精密工学会事業企画第3グループ(グループリーダー 2023〜)

2024/10 - International Conference on Precision Engineering (ICPE2024) Publication Committee Chair

2020/06 - 2022/03 日本機械学会学術誌編修委員

2022 - 2022 Frontiers in manufacturing technology Associated Editor “Research Trends in Ultra-Precision Machining and measurement of Hard-and-Brittle Materials”

2021 - 2021 Nanomanufacturing and Metrology Associated Editor “Micro- and Nano-Metrology in Japan"

2018/04 - 2020/03 日本機械学会生産加工・工作機械部門運営委員

2018/04 - 2020/03 日本機械学会生産加工・工作機械部門第1企画委員会幹事

2019 - 2020 日本光学会光学シンポジウム実行委員

2016/04 - 2019/03 精密工学会会誌編集委員

2019 - 2019 International conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN) 2019 Deputy secretary

2019 - International Symposium on Measurement and Intelligent Instruments (ISMTII) 2019 Program committee

2016/04 - 2018/03 精密工学会事業部会統括幹事

2014/04 - 2018/03 精密工学会国際交流委員

2009/04 - 2018/03 精密工学会アフィリエイト委員

2018 - 2018 International Symposium on Optomechatronics Technology (ISOT) 2018 Program committee

2016 - 2016 International Symposium on Optomechatronics Technology (ISOT) 2016 Local general committee

2014 - 2014 Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry (LMPMI) 2014 Program committee

2007/04 - 2010/03 精密工学会学生編集委員

2010 - 2010 International Symposium on Measurement and Quality Control (ISMQC) 2010 Local organizing committee

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受賞 (33件)：

2023/11 - ASPEN2023 Best Paper Award Fabrication of Functional Surface using Water Jet Guided Laser Processing: Mechanism of Surface Structure Fabrication by Underwater Processing of the Workpiece
2023/11 - ASPEN2023 Best Paper Award A Novel Single-Microparticle Total Analysis System Driven by Optical Tweezers
2023/09 - ISMTII2023 Best Paper Award Super-resolution Imaging of Sub-diffraction-limited Pattern with Superlens based on Deep Learning
2023/09 - ISMTII2023 Best Paper Award In-process Observation of Physical Phenomena Inside the Workpiece Processed by Water Jet Guided Laser
2022/11 - ASPEN2022 Best Paper Award Optical depth measurement for microgrooves: A self-interferometry method based on near field polarization analysis

2022/01 - Nanomanufacutring and metrology Excellent article award: Surface imaging technique by an optically trapped microsphere in air condition

2020/08 - 里見奨学会里見賞光共振モード解析に基づく超高精度球体計測原理の確立

2019/09 - 精密工学会メカノフォトニクス専門委員会吉澤論文賞 Scanning dimensional measurement using laser-trapped microsphere with optical standing-wave scale

2019/09 - ISMTII 2019 Young Researcher Award In-process measurement technique of micro-fiber diameter with interfered scattering pattern of two beam irradiation

2019/03 - 精密工学会精密工学会論文賞 One-shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure

2018/11 - ICPE2018 Best Paper Award Analysing tapered fiber-microsphere coupling for diameter measurement of microsphere using whispering gallery mode resonance

2018/10 - 日本機械学会機械加工・工作機械部門優秀講演論文表彰 Whispering gallery mode共振を用いたマイクロ球直径計測 -比較計測による計測精度評価-

2018/08 - ISPEMI 2018 Excellent Paper Award Dielectric microsphere measurement using whispering gallery mode resonance

2017/11 - エヌエフ基金研究開発奨励賞微小球共振原理を用いた幾何標準のためのマイクロスケール球の計測評価

2017/09 - ISMTII2017 Best Paper Award 2017 In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano- stereolithography

2017/09 - International Journal of Automation Technology Best Paper Award 2017 Fundamental study on novel on-machine measurement method of cutting tool edge profile based on fluorescent confocal microscope

2017/04 - 日本機械学会奨励賞(研究) マイクロスケール3次元形状標準を実現する超精密光応用計測の研究

2016/03 - 日本機械学会関西支部関西支部賞奨励賞 Whispering gallery modeを用いたマイクロ球の直径計測に関する研究

2015/10 - 日本機械学会生産加工・工作機械部門優秀講演論文表彰 High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe

2015/10 - ISOT2015 Best Innovation Award On-machine measurement of cutting tool edge profile by detecting fluorescence from cutting fluid

2015/10 - マザック財団マザック高度生産システム論文賞 Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode

2015/03 - 砥粒加工学会論文賞ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた平坦化加工に関する研究

2015/03 - 精密工学会沼田記念論文賞蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)-蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発-

2014/05 - 工作機械技術振興財団奨励賞

2013/10 - International Journal of Optomechatronics Koh Young Best Paper Award New technique for single-beam gradient-force optical trapping in air

2012/10 - ISOT2012 Best Paper Award Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe” International Symposium on Optomechatronic Technologies

2011/11 - ASPEN2011 President excellent award In-situ Raman analysis of chemical reaction for copper-CMP using water-soluble fullerenol

2011/09 - LMPMI2011 Best paper award Damping nature of vibrated surface-sensing probe controlled by optical radiation pressure

2011/05 - 工作機械技術振興財団奨励賞 WGM 共振を用いたマイクロ粒子における真球度評価の基礎的研究

2011/03 - The 6th ICOMM Outstanding paper award Measurement of micro figure using microprobe for coordinate metrology controlled by optical radiation

2010/03 - 自動車技術会大学院研究奨励賞ナノ座標測定における光放射圧マイクロプローブに関する研究

2009/12 - 日本ナショナルインスツルメンツアプリケーションコンテスト 2009 学生部門優秀賞ナノ/マイクロ形状のための座標測定システム

2009/05 - 精密工学会関西支部ベストポスタープレゼンテーション賞ナノ三次元座標測定のための光放射圧マイクロプローブに関する研究

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所属学会 (3件)：

応用物理学会 , 日本機械学会 , 精密工学会

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