抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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モノリシック三次元(M3D)相補型金属-酸化物-半導体(CMOS)およびナノ電気機械(NEM)ハイブリッド回路を,性能,エネルギー消費およびチップ密度の観点から議論した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】