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J-GLOBAL ID:201802211589900445   整理番号:18A1211100

高いI_ONとBVを持つノーマリオフ二重ゲートGa_2O_3プレーナMOSFETとFinFET【JST・京大機械翻訳】

Normally-OFF dual-gate Ga2O3 planar MOSFET and FinFET with high ION and BV
著者 (4件):
資料名:
巻: 2018  号: ISPSD  ページ: 379-382  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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GA_2O_3は,その大きなバンドギャップと安価な天然基板のため,パワーエレクトロニクス用の有望な広バンドギャップ材料である。しかし,技術的困難さのために,n型接合のないMOSFET(V_th<0V)だけが容易にできる。著者らは,Ga_2O_3平面MOSFETとFinFETの両方のための正規オフ素子を達成するために,デュアルゲート構成を用いることを提案した。較正されたパラメータを用いたTCADシミュレーションにより,正常オフ二重ゲート平面素子とFinFETが,高ドーピングが可能になると,ON電流(I_ON)において6Xと1Xの増強で達成できることが分かった。一方,絶縁破壊電圧は犠牲にならなかった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】
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トランジスタ 
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