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J-GLOBAL ID：201802212276738463   整理番号：18A1374291

X線光電子分光法(XPS)の紹介

著者 (1件)： 小西友弘 (JXTGエネルギー 中央技研)
資料名： JXTG Technical Review  (JXTG Technical Review)
巻： 60  号： 2  ページ： 58-62  発行年： 2018年07月20日 
JST資料番号： F0910A  ISSN： 2433-5797  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・X線光電子分光法(XPS)の原理と特徴,導入装置の基本性能と特長および分析例の紹介。
・試料にX線を照射して放出される電子のエネルギーを分析し,試料表面の元素組成や化学結合状態を調べるXPSの原理。
・X線に試料に照射すると内殻の電子がX線エネルギーを吸収し光電子として試料から放出されるこの光電子の運動エネルギーを測定することで元素固有のエネルギー値をとる結合エネルギーのデータと元素の種類の確定。
・触媒の分析,摩擦試験片の深さ方向分析などのXPSの分析例。

シソーラス用語： *X線光電子分光法 ,  化学組成 ,  化学結合 ,  光電子 ,  結合エネルギー
準シソーラス用語： 元素組成

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

引用文献 (4件)：

• T.Miyayama; J.Vac.SocJpn., 56,9,348(2013)
• アルバック・ファイ株式会社からの提供データ
• G.Tatsumi, S.Hasegawa and Y.Onumata; Tribology Online,12,3,103(2017)
• 田川一生,村木正芳;トライボロジスト,60,11,752(2015)

タイトルに関連する用語 (2件)： X線光電子分光法 ,  XPS