抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・X線光電子分光法(XPS)の原理と特徴,導入装置の基本性能と特長および分析例の紹介。
・試料にX線を照射して放出される電子のエネルギーを分析し,試料表面の元素組成や化学結合状態を調べるXPSの原理。
・X線に試料に照射すると内殻の電子がX線エネルギーを吸収し光電子として試料から放出されるこの光電子の運動エネルギーを測定することで元素固有のエネルギー値をとる結合エネルギーのデータと元素の種類の確定。
・触媒の分析,摩擦試験片の深さ方向分析などのXPSの分析例。