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J-GLOBAL ID：201802213143764550   整理番号：18A2043979

乾燥誘起パターン崩壊に影響する要因【JST・京大機械翻訳】

Factors Influencing Drying Induced Pattern Collapse

著者 (3件)： Mui David S.L. (Lam Research Corporation; 4650 Cushing Parkway, Fremont, USA, 94538) ,  Musselwhite Nathan (Lam Research Corporation; 4650 Cushing Parkway, Fremont, USA, 94538) ,  Kawaguchi Mark (Lam Research Corporation; 4650 Cushing Parkway, Fremont, USA, 94538)
資料名： Solid State Phenomena  (Solid State Phenomena)
巻： 282  ページ： 201-206  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高アスペクト比の特徴の崩壊は半導体産業に直面する挑戦課題である。この過程を支配する複雑な物理と動力学は完全には理解されていない。光ビデオ画像の利用により,実時間でパターン崩壊を観測した。液体メニスカスは,予想されるトップからボトムへの乾燥とは反対に,構造の長さに沿って横方向に再構成されることが分かった。ここでは,乾燥高アスペクト比構造の観察と物理について報告する。Copyright 2018 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 再構成 ,  半導体工業 ,  *メニスカス
準シソーラス用語： 実時間 ,  ビデオ画像 ,  高アスペクト比 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 乾燥プロセス ,  パターン崩壊 ,  半月板 ,  湿式清浄 ,  Laplace圧力 ,  高アスペクト比 ,  メニスカス再構成

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体の乾燥  (XD03022F) ,  流体動力学一般  (BC02010G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 誘起 ,  崩壊 ,  要因