文献

J-GLOBAL ID：201802213609677996   整理番号：18A0849680

デュアルモードBAW共振器を用いたAlSCN薄膜の材料定数抽出【JST・京大機械翻訳】

Material constants extraction for AlScN thin films using a dual mode baw resonator

著者 (4件)： Parsapour Fazel (Electroceramic Thin Film Group, EPFL, Lausanne, Switzerland) ,  Pashchenko Vladimir (Electroceramic Thin Film Group, EPFL, Lausanne, Switzerland) ,  Nicolay Pascal (CTR Carinthian Tech Research AG, Villach, Austria) ,  Murali Paul (Electroceramic Thin Film Group, EPFL, Lausanne, Switzerland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： MEMS  ページ： 763-766  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 傾斜c軸配向結晶粒を用いて,二重モードバルク音響波共振器を作製した。この場合,縦方向とせん断モードが同時に励起される。傾斜幾何学の剛性マトリックスを導出し,2つの基本共振周波数からc_33とc_44を決定した。さらに,音速の比から傾斜角を推定することができた。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結晶粒 ,  傾斜角 ,  *共振器 ,  *薄膜 ,  音速 ,  剪断 ,  幾何学 ,  共振周波数 ,  剛性マトリックス
準シソーラス用語： バルク音響波 ,  c軸配向 ,  *材料定数 ,  *FBAR ,  *デュアルモード , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 破壊力学一般  (HC04010A) ,  固体の音波物性一般  (BL02031U)

タイトルに関連する用語 (4件)： デュアルモード ,  BAW共振器 ,  薄膜 ,  材料定数