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J-GLOBAL ID:201802214550553793   整理番号:18A1777163

バナジウムドープInZnO薄膜の電気的および光学的性質の最適化【JST・京大機械翻訳】

Optimization of the electrical and optical properties of vanadium doped InZnO thin films
著者 (4件):
資料名:
巻: 113  号: 12  ページ: 121905-121905-5  発行年: 2018年 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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バナジウムドープ酸化インジウム亜鉛(VIZO)の透明導電性をVドーピング濃度の関数として調べた。VIZO膜は可視域で86%以上の平均透過率を示し,シート抵抗はVドーピング濃度が0.18%で10.81Ω/正方形を示した。透明導体としての適用性を検証するために,性能指数は2.07×10~-2Ω-1と得られた。電気的特性の変化は,伝導帯の下の酸化状態やバンド端欠陥状態のような電子構造の変化と相関することができた。最適条件を適用することにより,VIZO膜は5.16eVの高い仕事関数を達成した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
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