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J-GLOBAL ID：201802214601570917   整理番号：18A1738701

PZTに基づく500MHz超音波センサ設計とMEMS製作【JST・京大機械翻訳】

Design of PZT-based 500 MHz ultrasonic sensor and MEMS fabrication

著者 (4件)： Liu Jia (復旦大学微電子学院専用集成電路与系統国家重点実験室,上海,200433) ,  Wang Xubo (復旦大学微電子学院専用集成電路与系統国家重点実験室,上海,200433) ,  Xu Weijiang (法国国家科研中心電子微電子与納米技術研究所UMR CNRS 8520瓦朗謝納和埃諾-坎布雷斯大学声光電子学部,法国F-59313) ,  Zhou Jia (復旦大学微電子学院専用集成電路与系統国家重点実験室,上海,200433)
資料名： Chuanganqi yu Wei Xitong  (Chuanganqi yu Wei Xitong)
巻： 37  号： 7  ページ： 63-65,69  発行年： 2018年 
JST資料番号： C3686A  ISSN： 1000-9787  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 中心周波数が478MHzの超音波センサを,KLM等価回路モデルに基づいて設計した。厚さ4μmのジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)厚膜圧電材料をゾル-ゲル法で調製し,圧電材料の結晶構造,表面プロファイル,圧電性を試験し,材料が均一で緻密で,良好な圧電性を示した。超音波センサの製作技術を研究し、実際の動作周波数が459MHzの高周波超音波センサを作製し、試験プラットフォームでそのインピーダンスをテストし、実験値と理論値が整合し、電気インピーダンス誤差が1.8%、中心周波数誤差が3.9%であった。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *MEMS ,  ゾル-ゲル法 ,  結晶構造 ,  インピーダンス ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  厚膜 ,  HF【周波数】 ,  圧電材料
準シソーラス用語： 電気的インピーダンス ,  理論値 ,  動作周波数 ,  圧電特性 ,  等価回路モデル ,  中心周波数 ,  *超音波センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： PZT ,  超音波センサ ,  設計 ,  MEMS ,  製作