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J-GLOBAL ID：201802214823485779   整理番号：18A1144127

プラズマ支援原子層堆積による長範囲規則化垂直III-窒化物ナノシリンダアレイ【JST・京大機械翻訳】

Long-range ordered vertical III-nitride nano-cylinder arrays via plasma-assisted atomic layer deposition

著者 (6件)： Haider Ali (UNAM - Institute of Materials Science and Nanotechnology, Bilkent University, Ankara 06800, Turkey) ,  Deminskyi Petro ,  Yilmaz Mehmet ,  Elmabruk Kholoud ,  Yilmaz Ibrahim ,  Biyikli Necmi
資料名： Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices  (Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻： 6  号： 24  ページ： 6471-6482  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2383A  ISSN： 2050-7526  CODEN： JMCCCX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,陽極酸化アルミニウム酸化物(AAO)膜テンプレート低温プラズマ支援原子層蒸着(PA-ALD)を用いて,Si基板上に成長させた垂直GaN,AlNおよびInN中空ナノ円筒アレイ(HNC)を実証した。III族窒化物HNCを,それらの構造,化学,表面,および光学特性について特性化した。ナノ構造III-窒化物材料の材料特性を,PA-ALDを用いて成長させた薄膜対応物と比較した。著者らの結果は,III窒化物HNCの長距離秩序配列がSi基板上に成功裏に集積され,六方晶多結晶ウルツ鉱型結晶構造を有することを明らかにした。このような長距離秩序化ウエハスケールIII-窒化物ナノ構造は,圧電センシング,エネルギー収穫,抵抗メモリ,フレキシブルおよびウェアラブルエレクトロニクス,III-窒化物光起電力,および(光)触媒において潜在的に使用される可能性がある。Copyright 2018 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光起電力 ,  多結晶 ,  圧電気 ,  アノード酸化 ,  窒化ガリウム ,  触媒 ,  薄膜 ,  *プラズマ ,  六方晶系 ,  ナノ構造 ,  キャラクタリゼーション ,  長範囲規則度 ,  円筒 ,  *窒化物
準シソーラス用語： シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ ,  支援 ,  原子層堆積 ,  規則化 ,  垂直 ,  窒化物 ,  ナノシリンダ ,  アレイ