文献
J-GLOBAL ID：201802214931222642
整理番号：18A1421486
エラストマ封止PZT/Siマイクロカンチレバー振動覚センサの試作評価
Fabrication and Characterization of Vibration Sensor with PZT/Si Microcantilever Embedded in Elastomer
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著者 (4件)：
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資料名：
号：
PHS-18-021.023-027 フィジカルセンサ研究会
ページ：
13-15
発行年：
2018年07月12日
JST資料番号：
Z0924B
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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準シソーラス用語：
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分類 (1件)：
分類
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振動の励起・発生・測定
タイトルに関連する用語 (8件)：
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