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J-GLOBAL ID：201802215325075958   整理番号：18A0919918

静電容量型6軸力覚センサの開発・設計・製造

Development, Design and Production of Capacitive 6-Axis Force Sensor

著者 (4件)： 佐伯和司 ((株)ワコーテック) ,  西沖暢久 ((株)ワコーテック) ,  鈴木信人 ((株)ワコーテック東京営業所) ,  岡田和廣 ((株)ワコーテック)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 84  号： 4  ページ： 307-310(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・従来の多軸力センサーは歪みゲージ式であり,起歪体の構造が複雑で,生産性に劣り,および過負荷・衝撃に弱いといった弱点があり,本稿では,その解決のために開発した,静電容量型6軸力覚センサの原理と構造,センサの信頼性試験,センサの製造,そしてモーメント比率の改善を紹介。
・静電容量型6軸力覚センサの原理と構造(起歪み体に微小な変形により,並行平板間の距離が変化することで静電容量が変化し,それを特殊な電極パターンを持つ回路基板にて検出)とセンサ信頼性試験(過負荷対策,耐ノイズ性,防水・防塵性,繰返し荷重試験)を説明。
・センサの製造における留意点(ネジへの緩み止め塗布とトルク管理)とモーメント比率の改善(曲げ剛性を向上し,荷重の印加位置がより遠くても,十分な性能を発揮するセンサ)について言及。

シソーラス用語： *多軸 ,  *圧力センサ ,  *静電容量 ,  電極 ,  信頼性 ,  過負荷 ,  雑音安定度 ,  防水性 ,  繰返し荷重 ,  工程管理 ,  曲げ剛性 ,  モーメント ,  トルク
準シソーラス用語： ノイズ耐性 ,  パターン ,  過負荷保護 ,  *静電容量型6軸力覚センサ ,  防塵

著者キーワード (12件)： 6-axis ,  force ,  torque ,  moment ,  capacitive ,  reliability ,  6-axis ,  force ,  torque ,  moment ,  capacitive ,  reliability

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (7件)：

• 1) K. Okada et al. : Development of Micro-machined Three-axis Sensors in Venture Business, Transducers '01, Munich, (2001) 1280-1283.
• 2) K. Okada : Force Detection Device, US Patent No. 6915709, (2005).
• 3) K. Okada : Force Detection Device, US Patent No. 7121147, (2006).
• 4) K. Okada : Force-Detecting Device, US Patent No. 7219561, (2007).
• 5) 角谷哲哉,田中篤ほか:静電容量型6 軸力覚センサの開発,電気学会論文誌,129, 2 (2009) 41.

タイトルに関連する用語 (4件)： 静電容量 ,  力覚センサ ,  開発 ,  設計