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J-GLOBAL ID:201802218434934963   整理番号:18A0588572

シリコン-オン-絶縁体MOSFETにおける界面結合効果に基づいた新しい光検出器【Powered by NICT】

A novel photodetector based on the interface coupling effect in silicon-on-insulator MOSFETs
著者 (8件):
資料名:
巻: 2017  号: S3S  ページ: 1-3  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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シリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板上に構築された応答性記録をもつ新しいCMOSコンパチブル光検出器を報告した。動作機構を,SOI MOSFETにおける界面結合効果に基づく,単純化したプロセスフローを用いて作製したプロトタイプデバイスにおけるTCADシミュレーションと実験測定の両方により確認された。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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トランジスタ 
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