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J-GLOBAL ID：201802219398444221   整理番号：18A1483277

異なる表面金属層を用いた高安定銀薄膜の光学特性【JST・京大機械翻訳】

Optical properties of highly stable silver thin films using different surface metal layers

著者 (8件)： Kudo Eita (Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan) ,  Hibiya Souma (Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan) ,  Kawamura Midori (Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan) ,  Kiba Takayuki (Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan) ,  Abe Yoshio (Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan) ,  Kim Kyung Ho (Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan) ,  Sugiyama Takuya (Tokai University, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, Japan) ,  Murotani Hiroshi (Tokai University, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, Japan)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 660  ページ： 730-732  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 以前に,表面と界面Alナノ層がアニーリングにより凝集を抑制するために用いられる非常に安定な銀薄膜を開発した。本研究では,銀膜の反射率に焦点を当てた。AlとTi表面層をRFマグネトロンスパッタリングにより銀膜上に堆積した。Ag,Al/Ag及びTi/Ag膜の表面形態及び反射率を原子間力顕微鏡及び分光光度計を用いて測定した。全ての膜の表面粗さは非常に小さく,AlとTi層の堆積により減少した。厚さ1nmのAlまたはTi層を蒸着したAg膜は銀単一膜と同じ反射率を示した。しかし,AlまたはTi層の厚さが3nmに増加したとき,反射率の減少が観察された。その結果,AlまたはTi層堆積の最適厚さは非常に安定な銀薄膜において1nmであることが分かった。それらの光学特性は,表面層の金属と金属酸化物の両方によって影響を受けた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 金属酸化物 ,  原子間力顕微鏡 ,  *光学的性質 ,  チタン ,  界面 ,  表層 ,  焼なまし ,  アルミニウム ,  反射率 ,  *薄膜 ,  *銀 ,  ナノシート ,  表面形態 ,  ナノ薄膜 ,  *銀薄膜
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： 銀 ,  薄膜 ,  表面ナノ層 ,  アルミニウム ,  チタン ,  酸化物 ,  光学的性質 ,  表面粗さ

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 金属層 ,  銀薄膜 ,  光学特性