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J-GLOBAL ID：201802220019593819   整理番号：18A0443860

円形ジンバル静電ねじれマイクロミラーの解析とシミュレーション【Powered by NICT】

Analysis and simulation of round gimbaled electrostatic torsion micro-mirror

著者 (4件)： Bahgat Ahmed S. (Engineering Physics Department, Military Technical College, Cairo, Egypt) ,  Zaki Ahmed H. (Engineering Physics Department, Military Technical College, Cairo, Egypt) ,  Abdo M. Mohamed (Engineering Physics Department, Military Technical College, Cairo, Egypt) ,  El-Sherif Ashraf F. (Engineering Physics Department, Military Technical College, Cairo, Egypt)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICCES  ページ： 708-711  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,平行板コンデンサモデルに基づく可変長電極を持つ静電駆動円形ねじりマイクロミラーの静的および動的特性について述べた。円形ねじりマイクロミラーデバイスの静的作動特性を支配する正規化方程式を導いた。回転角と駆動電圧,および動的方程式の間の関係についても紹介した。積分近似は2.5%以下の誤差で解析的シミュレーションを単純化するために推定した。引き込み現象は,プルイン角および以前の近似を考慮した最大駆動電圧と電極サイズの直接関係を検討した。モード解析とモード形状もシミュレートした。静的および動的有限要素シミュレーションと数学的解析の間の優れた一致が達成された。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 計算機シミュレーション ,  モード解析 ,  近似法 ,  ねじり ,  正規化 ,  *シミュレーション ,  回転角 ,  簡素化 ,  *ねじり変形
準シソーラス用語： 数学的解析 ,  有限要素シミュレーション ,  引き込み現象 ,  駆動電圧 ,  静電駆動 ,  *マイクロミラー ,  *ジンバル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 円形 ,  ジンバル ,  ねじれ ,  マイクロミラー ,  解析 ,  シミュレーション