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J-GLOBAL ID：201802220376649478   整理番号：18A0459310

サブミクロン銅薄膜の破壊じん性に及ぼす酸化の影響

著者 (5件)： 三木大輝 (大阪大) ,  杉浦大貴 (大阪大) ,  近藤俊之 (大阪大) ,  平方寛之 (京大) ,  箕島弘二 (大阪大)
資料名： 日本機械学会M&M材料力学カンファレンス(CD-ROM)  (日本機械学会M&M材料力学カンファレンス講演論文集(CD-ROM))
巻： 2017  ページ： ROMBUNNO.OS1505  発行年： 2017年10月06日 
JST資料番号： L0191B  ISSN： 2424-2845  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： サブミクロン金属薄膜の表面酸化層は,表面近傍の転位運動に影響を及ぼす。本研究は,サブミクロン銅薄膜の破壊じん性に及ぼす表面酸化層の影響の解明を目的とする。膜厚約500nmの銅薄膜を対象とし,酸化層厚さ約3~6nmの酸化試験片と酸化層を除去した酸化層除去試験片に対し,その場電界放射型走査型電子顕微鏡観察破壊じん性試験を行った。その場観察像を基に,き裂発生時の限界き裂開口変位を評価し,破壊じん性に及ぼす酸化の影響を検討した。(著者抄録)

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *破壊靱性 ,  *酸化層 ,  運動 ,  転位【結晶】 ,  電子顕微鏡観察 ,  破壊靱性試験 ,  その場観察 ,  亀裂発生 ,  亀裂開口変位
準シソーラス用語： 走査電子顕微鏡観察 ,  転位運動 ,  *銅薄膜

分類 (1件)： 金属材料  (HC04020L)

タイトルに関連する用語 (4件)： サブ ,  銅薄膜 ,  破壊じん性 ,  酸化