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J-GLOBAL ID：201802220675938376   整理番号：18A0932098

大規模ポリ(メタクリル酸メチル)マイクロおよびナノ流体チップ製造のための新しい結合法

A novel bonding method for large scale poly(methyl methacrylate) micro- and nanofluidic chip fabrication

著者 (3件)： QU Xingtian (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  LI Jinlai (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  YIN Zhifu (Jilin Univ., Changchun, CHN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 4  ページ： 047001.1-047001.6  発行年： 2018年04月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロおよびナノ流体チップは,生物学的および医学的応用のために重要性を増している。マイクロおよびナノフルイディクスにおける将来の進歩および商業応用におけるその利用は,低コストおよび高忠実度の大規模プラスチックマイクロおよびナノ流体チップの開発および製造に依存している。しかし,現在の製造方法の大部分は,基板とカバープレートの間の空気トラッピングによる熱結合過程の間のチップの低い結合速度を被っている。本研究では,Arプラズマと水処理に基づく新しい結合技術を提案し,大規模ミクロおよびナノ流体チップを完全に結合させた。水接触角に及ぼすArプラズマパラメータの影響とチップの結合速度と結合強度に及ぼす結合条件の影響を研究した。蛍光試験は,180nm幅と180nm深さのナノチャンネルを有する5×5cm²ポリ(メタクリル酸メチル)チップが,著者らの新しく開発した方法によるブロックと漏れなしに作製できることを実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *大量生産 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  *マイクロ流体デバイス ,  マイクロフルイディクス ,  プラズマ ,  接触角 ,  水処理 ,  蛍光 ,  *生産技術 ,  プラズマパラメータ
準シソーラス用語： マイクロ流体チップ ,  *ナノ流体 ,  ナノフルイディクス

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (38件)：

• C. Duan, W. Wang, and Q. Xie, Biomicrofluidics 7, 026501 (2013).
• R. B. Schoch, J. Han, and P. Renaud, Rev. Mod. Phys. 80, 839 (2008).
• S. L. Levy, J. T. Mannion, J. Cheng, C. H. Reccius, and H. G. Craighead, Nano Lett. 8, 3839 (2008).
• J. Sang, H. Du, W. Wang, M. Chu, Y. Wang, H. Li, H. A. Zhang, W. Wu, and Z, Li, Biomicrofluidics 7, 024112 (2013).
• D. W. Chun, S. H. Kim, H. Song, S. Kwak, Y. Kim, H. Seok, S. M. Lee, and J. H. Lee, Appl. Phys. Express 6, 017001 (2013).

タイトルに関連する用語 (3件)： 大規模 ,  メタクリル酸メチル ,  ナノ流体チップ