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J-GLOBAL ID：201802221035143514   整理番号：18A1262082

マイクロスケールバイオ応用のために設計した金平面インダクタにおける電熱劣化因子【JST・京大機械翻訳】

Electrothermal deterioration factors in gold planar inductors designed for microscale bio-applications

著者 (2件)： Rizou M.E. (Electronic Materials & Devices Research Group, Zepler Institute, University of Southampton, University Road, SO17 1BJ Southampton, UK) ,  Prodromakis T. (Electronic Materials & Devices Research Group, Zepler Institute, University of Southampton, University Road, SO17 1BJ Southampton, UK)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 197  ページ： 61-66  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,熱現象がその性能に及ぼす影響を試験する電熱研究と共に,in vitroでの無接触神経刺激用に設計したウエハレベルマイクロインダクタの作製を示した。すべてのマイクロスケール電磁部品の電気的性能は,Joule加熱とエレクトロマイグレーションの2つの支配的要因によって妨げられる。研究の範囲は,これらの現象が活性化中の試料の電気的挙動をどのように変化させるかを評価することである。異なる幾何学的特性を有する6つのタイプのサンプルを通して,操作の安全領域を実験的に定義し,それらの中央値故障時間を比較することにより,サンプルの信頼性に対する有用な情報を抽出した。これらの知見は,成分の熱分解を避けるために考慮すべき活性化制限を示すが,同時に,類似の幾何学の設計指針として使用できる。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 信頼性 ,  熱分解 ,  安全性 ,  *電気加熱 ,  エレクトロマイグレーション ,  幾何学 ,  故障 ,  神経刺激 ,  抵抗加熱 ,  中央値 ,  微細加工 ,  in vitro実験 ,  *熱劣化
準シソーラス用語： *マイクロスケール ,  非接触 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 熱劣化 ,  平面マイクロインダクタ ,  ジュール加熱 ,  エレクトロマイグレーション ,  微細加工 ,  マイクロ磁気刺激

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 応用 ,  設計 ,  インダクタ ,  電熱 ,  因子