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J-GLOBAL ID：201802221716630510   整理番号：18A0770590

サファイア基板の加工溝近傍への押し込み硬さ試験

著者 (4件)： 春日博 (理研) ,  加藤照子 (理研) ,  大森整 (理研) ,  根本昭彦 (山形大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.N32  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 臨界切り込み深さ未満の微小切り込みによるサファイア基板への溝加工を行ったところ,深さ10nm未満の極めて浅い溝を加工可能であった。また,溝近傍の観察結果から,塑性流動による材料変形と類似する特徴を有する領域が見られた。優れた機械的特性を持つことから,固体潤滑剤を用いた摺動材としての用途を視野に入れ,溝付近の微小押し込み硬さ試験を行い,溝近傍と未加工領域との比較を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *基板 ,  *溝加工 ,  *押込硬さ ,  *硬さ試験 ,  *工作精度 ,  *塑性流動
準シソーラス用語： *サファイア基板

分類 (1件)： セラミック材料試験  (HB04000M)

タイトルに関連する用語 (3件)： サファイア基板 ,  近傍 ,  押し込み硬さ試験