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J-GLOBAL ID：201802222070271050   整理番号：18A1646035

光学ガスセンサパッケージのためのろ過インタフェイスとしてのナノ多孔質酸化アルミニウム膜【JST・京大機械翻訳】

Nano-porous aluminum oxide membrane as filtration interface for optical gas sensor packaging

著者 (6件)： Ma Ying (CTR Carinthian Tech Research AG, Villach, Austria) ,  Kaczynski Jaroslaw (CTR Carinthian Tech Research AG, Villach, Austria) ,  Ranacher Christian (CTR Carinthian Tech Research AG, Villach, Austria) ,  Roshanghias Ali (CTR Carinthian Tech Research AG, Villach, Austria) ,  Zauner Markus (CTR Carinthian Tech Research AG, Villach, Austria) ,  Abasahl Banafsheh (CTR Carinthian Tech Research AG, Villach, Austria)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 198  ページ： 29-34  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 包装とろ過は,それらが大気中の塵埃と水分の汚染に対して脆弱であるので,フォトニックガスセンサにとって重要である。本研究では,シリコン導波路のエバネセント場に基づく光学的CO_2ガスセンサのための濾過界面としてナノ多孔質陽極酸化アルミニウム(AAO)を用いたパッケージングのプロトタイプを提示した。AAO膜用のアクリレート型パッケージハウジングを設計し,製造し,3D印刷とインクジェット印刷を含む付加的製造技術を実行することにより組み立てた。対応するパッケージのシミュレーションと実験結果は,応答時間の最小の影響を示し,一方,顕著な濾過性能を提供した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  *酸化 ,  生産技術 ,  導波路 ,  *インタフェイス ,  *ガスセンサ ,  アノード酸化 ,  プロトタイプ ,  水分 ,  インクジェット印刷 ,  ケイ素 ,  塵埃
準シソーラス用語： エバネセント場 ,  脆弱性 ,  *ナノポーラス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ガスセンサパッケージ ,  陽極酸化した酸化アルミニウム膜 ,  シリコン導波路 ,  添加剤製造 ,  3D印刷

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光学 ,  ガスセンサ ,  パッケージ ,  ろ過 ,  インタフェイス ,  ナノ多孔質 ,  酸化 ,  アルミニウム膜