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J-GLOBAL ID：201802222856608093   整理番号：18A2112458

SnドープIn_2O_3薄膜の微細構造,電気的および光学的性質に及ぼす酸素分圧の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of oxygen partial pressure on the microstructure, electrical and optical properties of the Sn-doped In₂O₃ thin films

著者 (4件)： Liu Xiaochan (Key Laboratory of Display Materials and Photoelectric Devices, Ministry of Education, Tianjin Key Laboratory for Photoelectric Materials and Devices, National Demonstration Center for Experimental Function Materials Education, School of Material Science and Engineering, Tianjin University...) ,  An Yukai (Key Laboratory of Display Materials and Photoelectric Devices, Ministry of Education, Tianjin Key Laboratory for Photoelectric Materials and Devices, National Demonstration Center for Experimental Function Materials Education, School of Material Science and Engineering, Tianjin University...) ,  Lin Zhen (Key Laboratory of Display Materials and Photoelectric Devices, Ministry of Education, Tianjin Key Laboratory for Photoelectric Materials and Devices, National Demonstration Center for Experimental Function Materials Education, School of Material Science and Engineering, Tianjin University...) ,  Liu Jiwen (Key Laboratory of Display Materials and Photoelectric Devices, Ministry of Education, Tianjin Key Laboratory for Photoelectric Materials and Devices, National Demonstration Center for Experimental Function Materials Education, School of Material Science and Engineering, Tianjin University...)
資料名： Modern Physics Letters B. Condensed Matter Physics, Statistical Physics, Applied Physics  (Modern Physics Letters B. Condensed Matter Physics, Statistical Physics, Applied Physics)
巻： 32  号： 24  ページ： 1850284  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0431A  ISSN： 0217-9849  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： シンガポール (SGP)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なるAr-O_2流量(10:0.4,10:1,10:1.8および10:3)により蒸着したSnドープIn_2O_3(ITO)膜の微細構造,電気的および光感受性特性に及ぼす酸素分圧の影響を,X線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),原子間力顕微鏡(AFM),Hall効果,UV-Visおよび光学測定により系統的に調べた。XRDとSEM測定は,0.4sccmの酸素流量で蒸着したITO膜が(400)配向を好み,粗い鋸歯形状表面を持つことを示した。しかし,1sccm,1.8sccmおよび3sccmの酸素流量で蒸着したITO膜は(222)配向を好み,平坦な滑らかな表面を示した。ITO膜の伝導率,移動度および感光性も酸素流量に敏感である。0.4sccmの酸素流量で蒸着したITO膜は,高いキャリア濃度([数式:原文を参照]cm[数式:原文を参照]まで)と移動度(16.7cm~2/vs),低抵抗[数式:原文を参照],および長い応答時間を有するが,紫外線に対して良好な感度を有する。表面形態は紫外線に対する感度において支配的な役割を果たすと結論できる。紫外線の良好な感度は,鋸歯形状表面を持つITO膜から得られる。Copyright 2018 World Scientific Publishing Company All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *光学的性質 ,  応答時間 ,  Hall効果 ,  *ドーピング ,  キャリア密度 ,  X線回折 ,  流量 ,  紫外線 ,  *微細構造 ,  走査電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  *薄膜 ,  移動度 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： 酸素流量 ,  *酸素分圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ITO ,  酸素流量 ,  微細構造 ,  感光性

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： Sn ,  ドープ ,  薄膜 ,  微細構造 ,  光学的性質 ,  酸素分圧