文献

J-GLOBAL ID：201802223156770384   整理番号：18A1030848

くし形駆動加速度計の性能に及ぼす形状スケーリングの影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of geometry scaling on comb-drive accelerometer performance

著者 (4件)： Szermer Michal (Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland) ,  Zajac Piotr (Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland) ,  Starzak Lukasz (Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland) ,  Zabierowski Wojciech (Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： MEMSTECH  ページ： 118-121  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,一軸櫛駆動加速度計の設計を示した。このような装置の3Dモデルを構築し,Comsolでパラメータ化した。構造を拡大し,センサ性能を増加させるために,スケール因子を適用した。機械的および電気的挙動を調べ,固有振動数,初期静電容量,静電容量変化,プルイン電圧および衝撃抵抗などの基本パラメータを抽出した。シミュレーションは,幾何学的拡大がセンサの感度を増加させるが,それはいくつかの負の副作用を生じることを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 静電容量 ,  固有振動数 ,  衝撃強さ ,  センサ ,  *櫛形 ,  パラメタリゼーション ,  *加速度計 ,  一軸 ,  スケール因子 ,  三次元モデル
準シソーラス用語： プルイン電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： くし形 ,  加速度計 ,  スケーリング