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J-GLOBAL ID：201802223300488988   整理番号：18A0987838

Ti/Si多層ナノ薄膜における応力誘起化学反応条件の検討

著者 (4件)： 河合貴志 (大阪大 大学院) ,  近藤俊之 (大阪大) ,  平方寛之 (京大) ,  箕島弘二 (大阪大)
資料名： 日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集  (日本機械学会関西支部定時総会講演会講演概要集)
巻： 93rd  ページ： 151-153  発行年： 2018年03月12日 
JST資料番号： L0014A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Ti/Si多層ナノ膜の化学反応の応力誘起条件を検討するために,FIB装置を用いて,Ti/Si多層ナノ薄膜から円錐台状の試験片を加工し,FESEM観察下で,多層薄膜の積層方向に圧縮試験を行った。機械的刺激による化学反応の有無を検討するため,FIB装置を用いて試験片内部を薄片状に加工し,それに対してTEM観察を行った。最大応力4GPa,最大対数ひずみ0.6の条件下で圧縮試験を行った試験片に対してTEM観察したところ,多層構造が大きく変形し,化合物が新たに生成されたことを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *チタン ,  *ケイ素 ,  *多層膜 ,  *化学反応 ,  圧縮試験 ,  機械刺激 ,  試験片 ,  電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *要求分析 ,  応力歪特性 ,  金属間化合物 ,  *発熱反応
準シソーラス用語： ナノ多層膜 ,  応力誘起化学反応 ,  薄片 ,  必要条件解析

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (8件)： Ti ,  Si ,  多層 ,  ナノ薄膜 ,  応力 ,  誘起 ,  化学 ,  反応条件