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J-GLOBAL ID：201802223356993934   整理番号：18A0971631

非対称容量結合高周波NeおよびCF_4プラズマにおけるモード遷移の実験的研究【JST・京大機械翻訳】

Experimental investigation of mode transitions in asymmetric capacitively coupled radio-frequency Ne and CF₄ plasmas

著者 (5件)： Liu Gang-Hu (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Liu Yong-Xin (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Bai Li-Shui (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Zhao Kai (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Wang You-Nian (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China)
資料名： Physics of Plasmas  (Physics of Plasmas)
巻： 25  号： 2  ページ： 023515-023515-14  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0641B  ISSN： 1070-664X  CODEN： PHPAEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子パワー吸収モードの遷移の間の外部パラメータに対する電子密度と発光強度の依存性を,非対称電気陽性(ネオン)と電気陰性(CF_4)容量結合高周波プラズマにおいて実験的に研究した。発光強度の空間時間分布を位相分解発光分光法で測定し,放電中心での電子密度を浮遊ヘアピンプローブを用いて測定した。ネオン放電において,発光強度は,ここでカバーされた全ての駆動周波数においてrf電圧によりほぼ直線的に増加し,一方,rf電圧による電子密度の変化は異なる駆動周波数で異なる挙動を示した。特に,高い駆動周波数では電子密度はrf電圧とともに直線的に増加するが,低い駆動周波数では低電圧側では電子密度はゆっくりと増加するが,rf電圧がある値より高いときは急速に成長し,αからγモードへの転移を示す。モード遷移が起こるrf電圧は,駆動周波数/作動圧力の減少とともに増加した。対照的に,CF_4放電において,3つの異なる電子パワー吸収モードを観察することができ,電子密度と発光強度はrf電圧への単純な依存性を示さなかった。特に,電子密度は,電子パワー吸収モードがドリフト-両極性からα/γモードへのスイッチングであるとき,一定のrf電圧で最小値を示した。放電がγモードにスイッチングされるとき,より高いrf電圧での発光強度においても最小値を見出すことができる。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *非対称性 ,  放電 ,  電圧 ,  発光分光法 ,  高速度 ,  *HF【周波数】 ,  位相 ,  電子密度 ,  *プラズマ ,  周波数 ,  ドリフト
準シソーラス用語： 低電圧 ,  発光強度 ,  *モード遷移 ,  *容量結合 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ平衡・閉込め  (BJ02070P) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非対称 ,  容量結合 ,  Ne ,  プラズマ ,  モード遷移 ,  実験的研究