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J-GLOBAL ID:201802223909713939   整理番号:18A0860741

マルチはんだボール試験構造のエレクトロマイグレーション【JST・京大機械翻訳】

Electromigration of multi-solder ball test structures
著者 (7件):
資料名:
巻: 2018  号: IRPS  ページ: 5B.2-1-5B.2-6  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,異なるボール数,トレースサイズ,および電流分布を有するウエハレベルパッケージングマルチボール構造に対するエレクトロマイグレーション故障特性を調べた。単一相互接続構造とは異なり,マルチボール構造の抵抗測定は,個々のボールに対応する明確なステップと屈曲を示し,それは故障解析を通して確認された。また,故障解析により,電流分割のないボール構成はほぼ連続的に失敗し,一方,電流分割によるそれらはより同時に失敗することを明らかにした。このように,後者の場合のエレクトロマイグレーション性能は大きく向上した。より大きなトレースサイズも寿命を延長する。最後に,ブラックの法則からの電流密度指数nの範囲を,種々のマルチボール構造の寿命比を通して確立することができた。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
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