Rausch Martin について
Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria について
Pavlovic Marius について
Faculty of Electrical Engineering and Information Technology, Slovak University of Technology in Bratislava, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava 1, Slovak Republic について
Kreiml Patrice について
Department of Materials Physics, Montanuniversitaet Leoben, Jahnstrasse 12, 8700 Leoben, Austria について
Cordill Megan J. について
Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Jahnstrasse 12, 8700 Leoben, Austria について
Winkler Jorg について
Business Unit Coating, Plansee SE, Metallwerk-Plansee-Strasse 71, 6600 Reutte, Austria について
Mitterer Christian について
Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria について
Applied Surface Science について
化学組成 について
散乱 について
プラズマ について
シミュレーション について
薄膜 について
アルゴン について
アルミニウム について
モリブデン について
モデリング について
メタライゼーション について
薄膜成長 について
マグネトロンスパッタリング について
スパッタ蒸着 について
フラットパネルディスプレイ について
シリコンウエハ について
マグネトロンスパッタリング について
薄膜 について
回転可能なターゲット について
Arプラズマ について
SRIM について
散乱 について
酸化物薄膜 について
ターゲット について
Mo について
薄膜 について
スパッタ蒸着 について
実験 について
シミュレーション について