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J-GLOBAL ID：201802225798091884   整理番号：18A1285947

2自由度空圧式除振装置におけるモード別固有値操作および縮退が与える影響

Effects caused by degeneration of natural frequency for pneumatic isolated table with two degrees-of-freedom

著者 (2件)： 青木ゆうい (東京農工大 大学院工学府) ,  涌井伸二 (東京農工大 大学院工学研究院)
資料名： 日本機械学会論文集(Web)  (Bulletin of the JSME (Web))
巻： 84  号： 862  ページ： ROMBUNNO.18-00052(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0182B  ISSN： 2187-9761  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体露光装置に搭載されるXYステージの高精度な動作のために,6自由度空圧式除振装置が用いられる。同装置では固有値が近接,つまり,縮退に陥りやすい。しかし産業応用の現場では,大型装置の設計変更によって縮退を避けることは不可能である。そこで,位置微分信号のフィードバックを運動モードごとに施すことを提案する。本論文では2自由度空圧式除振装置における同手法のパラメータ設計について検討し,モードごとの固有値操作に成功した。さらに,各固有値を近付ける操作によって縮退を模擬した。このとき,加速度制御において,モード間の干渉が発生することを実証した。(著者抄録)

シソーラス用語： 気圧 ,  空気圧制御 ,  *防振装置 ,  *振動モード ,  固有値 ,  縮退 ,  位置決め装置 ,  固有モード ,  速度制御 ,  設計 ,  X-Yステージ ,  加速度制御 ,  *露光装置 ,  空気圧
準シソーラス用語： パラメータ設計 ,  空圧 ,  空圧制御

分類 (3件)： 精密機械一般  (QF01000M) ,  振動伝搬  (BB02040K) ,  振動論  (BB02020O)

引用文献 (11件)：

• Aoki, Y. and Wakui, S., Pressure mode control of pneumatic isolation table with two degrees-of-freedom, 2016 International Conference on Advanced Mechatronic System (2016), pp. 265-270.
• Geoffrey, L. G., Non-contacting electro-pneumatic servo for vibration isolation, United States Patent 4850261 (1989).
• Kainuma, M., Aoki, J., Tamaoki, K., Fujita, T., Chinda, H. and Hayashi, A., Flexible airtight member and vibration resistant device using the same, Japanese patent disclosure 2003-194219 (2003).
• Kato, T., Shinagawa, D., Tadano, K., Kawashima, K. and Kagawa, T., Active control of vertical vibration of pneumatic air spring for rail train using acceleration, velocity and flow rate feedbacks, Vol. 9, No.13 (2010), pp. 91-97 (in Japanese).
• Takahashi, M. and Wakui, S., Improvement of isolated table using auxiliary tank, Journal of the Japan Society for Precision Engineering Vol. 75, No. 4 (2009), pp. 542-547 (in Japanese).

タイトルに関連する用語 (5件)： 2自由度 ,  空圧 ,  除振装置 ,  固有値 ,  縮退