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J-GLOBAL ID：201802226283042490   整理番号：18A0770216

光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究(第1報)-ベッセルビームによる加工原理検討に向けた装置開発-

著者 (5件)： 林政洋 (東大) ,  林晃平 (東大) ,  道畑正岐 (東大) ,  高増潔 (東大) ,  高橋哲 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A06  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細デバイスや次世代機能部品製造のために3次元微細構造の加工技術が求められている。本研究では電場強度勾配による光放射ポテンシャルに着目し,回折限界の制限を受けずに微粒子を局所化・3次元集積することで寸法100nm以下の3次元微細構造の加工を目指す。本報では一定距離において強度分布が変わらず,ビームが広がらずに伝搬するベッセルビームを用いて加工原理について基礎検討するための実験装置設計を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： 圧力 ,  ポテンシャル ,  *微細構造 ,  開発 ,  原理 ,  微粒子 ,  *レーザビーム ,  アキシコン ,  *レーザ加工 ,  集積
準シソーラス用語： *Besselビーム ,  局所化 ,  光放射圧 ,  *三次元加工 ,  三次元集積化 ,  装置開発

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光放射圧 ,  ポテンシャル ,  3次元 ,  微細構造 ,  基礎的研究 ,  ベッセルビーム ,  原理 ,  開発