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J-GLOBAL ID：201802227312247604   整理番号：18A1385071

高精度で高帯域幅のMEMSに基づく容量性加速度計【JST・京大機械翻訳】

A High-Precision and High-Bandwidth MEMS-Based Capacitive Accelerometer

著者 (6件)： Utz Alexander (Department of Integrated Circuits and Systems, Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems, Duisburg, Germany) ,  Walk Christian (Department of Micro and Nanosystems, Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems, Duisburg, Germany) ,  Stanitzki Alexander (Department of Integrated Circuits and Systems, Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems, Duisburg, Germany) ,  Mokhtari Mir (Mir Enterprises Ltd., London, U.K.) ,  Kraft Michael (Department of Electrical Engineering, MICAS, KU Leuven, Leuven, Belgium) ,  Kokozinski Rainer (Department of Integrated Circuits and Systems, Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems, Duisburg, Germany)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 18  号： 16  ページ： 6533-6539  発行年： 2018年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,超低雑音CMOS集積読出しICと高精度バルクミクロ加工センシング素子から成る容量性MEMSベース加速度計を示した。得られた加速度計は200ng/√Hzの加速等価雑音に達し,1μg/√Hz以下の騒音レベルを必要とする地震測定に適している。さらに,5kHz以上の高い帯域幅が達成され,それはまた,回転機械のための予測保全応用において,高周波測定に適用可能な提示されたセンサシステムを作った。センシング素子と読出しICの設計を詳細に示し,測定結果を示し,センサシステムの性能を実証した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *加速度計 ,  高周波測定 ,  雑音 ,  マイクロマシニング ,  CMOS ,  騒音レベル ,  *帯域幅 ,  地震 ,  回転機械 ,  *MEMS
準シソーラス用語： センサシステム ,  読出し ,  超低雑音 ,  *高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高帯域幅 ,  MEMS ,  容量性 ,  加速度計