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J-GLOBAL ID:201802228047989752   整理番号:18A2172064

インプリントプロセスを用いた三次元形状表面に対する配線化の基礎検討

Fundamental of Wiring on Three-dimensional Shape Surface with Imprinting Process
著者 (4件):
資料名:
巻: 2018  ページ: 193-194  発行年: 2018年11月19日 
JST資料番号: L3715A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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