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J-GLOBAL ID：201802228263952631   整理番号：18A1689092

RFプラズマ増強化学蒸着法により作製したゲルマニウム-炭素被覆の熱安定性【JST・京大機械翻訳】

Thermal stability of germanium-carbon coatings prepared by a RF plasma enhanced chemical vapor deposition method

著者 (4件)： Sousani F. (Department of Materials Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Isfahan, Iran) ,  Jamali H. (Department of Materials Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Isfahan, Iran) ,  Mozafarinia R. (Department of Materials Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Isfahan, Iran) ,  Eshaghi A. (Department of Materials Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Isfahan, Iran)
資料名： Infrared Physics & Technology  (Infrared Physics & Technology)
巻： 93  ページ： 255-259  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0184A  ISSN： 1350-4495  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,前駆体としてGeH_4とCH_4を用いたRFプラズマ増強化学蒸着(RF-PECVD)により,ZnS基板上にゲルマニウム-炭素被覆を蒸着した。被覆の熱安定性を,異なる温度(200°C,300°C,400°Cおよび500°C,3分間,空気雰囲気)での試料のアニーリング処理により調べた。次に,試料をFourier変換赤外(FTIR)分光法,X線回折(XRD),Raman分光法および電界放出走査電子顕微鏡法(FESEM)によって特性化した。200°Cと300°Cでのアニーリング試料により,光透過率は3~15μmの間の波長領域で3%増加した。400°Cでのアニーリング試料による透過率の顕著な変化はなかったが,8~9μmの間の波長領域での透過率のわずかな増加と11~12μmの間の波長領域でのわずかな減少を除いた。しかし,アニーリング温度(T_a)をさらに500°Cに上げると,被覆はZnS基板から部分的に剥離し,8~12μmの波長範囲で被覆の透過率が急激に減少した。200,300および400°Cの温度でアニールした被覆は,細孔のない構造を示した。しかし,T_aがさらに500°Cに増加すると,皮膜は崩壊した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 透過率 ,  硫化亜鉛 ,  *プラズマCVD ,  *熱安定性 ,  細孔 ,  前駆体 ,  FTIR分光法 ,  基板 ,  キャラクタリゼーション ,  赤外線 ,  皮膜 ,  X線回折 ,  *被覆 ,  焼なまし
準シソーラス用語： アニーリング温度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ゲルマニウム-炭素 ,  コーティング ,  熱安定性 ,  透過率

分類 (3件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  プラズマ増強化学蒸着 ,  作製 ,  ゲルマニウム ,  炭素被覆 ,  熱安定性