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J-GLOBAL ID:201802228864225780   整理番号:18A0180293

トライボ材料の表面特性の評価と可視化

Evaluation and Visualization of Surface Properties of Tribo-Materials
著者 (2件):
資料名:
巻: 62  号: 12  ページ: 773-779(J-STAGE)  発行年: 2017年 
JST資料番号: F0390A  ISSN: 0915-1168  CODEN: TORAEO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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省燃費・地球環境保全など機能材料の機械的特性をナノメートル分解能で数値化,微妙な違いを拡大評価するMSE(マイクロスラリージェットエロージョン)試験法が開発された。本文は,MSE試験の事例から新たに機械的特性の位置付けを可能にするSiウェハ,サファイア基板のエロージョン摩耗の投射粒子量依存性,摩耗率および鉄,セラミック,樹脂,ゴムの球状アルミナ/シリカMSE抵抗値のMSEマップと技術動向を解説した。
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分類 (1件):
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潤滑一般 
引用文献 (16件):
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