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J-GLOBAL ID：201802229029836637   整理番号：18A1374020

超薄膜白金を用いたブリッジ型水素センサ

著者 (5件)： 天野薫 (岡山大) ,  古川遼 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演予稿集
巻： 2017  ページ： 12  発行年： 2017年 
JST資料番号： L5917A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超薄膜 ,  *白金 ,  *ブリッジ回路 ,  *ガスセンサ ,  スパッタリング ,  酸化アルミニウム ,  薄膜抵抗器 ,  変化 ,  *水素センサ ,  保護層
準シソーラス用語： 薄膜抵抗体 ,  抵抗変化

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の電子伝導一般  (BM03031E) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 超薄膜 ,  白金 ,  ブリッジ ,  水素センサ