文献

J-GLOBAL ID：201802229298417242   整理番号：18A1680647

CMOS集積化スケーラブルプロセス技術における新しい512 ・320チップ傾斜マイクロミラーアレイ【JST・京大機械翻訳】

Novel 512 ・ 320 Tip-Tilt Micro Mirror Array in a CMOS-Integrated, Scalable Process Technology

著者 (17件)： Gehner A. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Durr P. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Kunze D. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Rudloff D. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Elgner A. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Heber J. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Frances S. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Skupsch C. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Torlee H. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Eckert M. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Friedrichs M. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Schmidt J. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Pufe W. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Doring S. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Hohle C. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Schulze M. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany) ,  Wagner M. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, IPMS, Maria-Reiche-Stras&e 2, Dresden, 01109, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： OMN  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 48μm画素サイズの2軸チップ傾斜アクチュエータから成る新しい512x320マイクロミラーアレイを開発し,任意方向に3.5°までの連続的,純粋なチップ傾斜運動を可能にし,0.025°より良い標準偏差で完全に較正できた。この素子は,基礎となる集積アドレス回路を用いた完全CMOS互換プロセスで実現した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アクチュエータ ,  標準偏差 ,  二軸 ,  画素 ,  傾動運動 ,  *CMOS
準シソーラス用語： *マイクロミラー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： CMOS ,  集積化 ,  マイクロミラーアレイ