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J-GLOBAL ID：201802231512464558   整理番号：18A2161647

UV硬化性結合材料を用いたUVナノインプリントリソグラフィーによるマイクロパターン化セラミックの作製プロセス

Fabrication process for micropatterned ceramics via UV-nanoimprint lithography using UV-curable binder

著者 (5件)： OKABE Takao (Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN) ,  KIM Yongtae (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  JIAO Zhenjun (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SHIKAZONO Naoki (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TANIGUCHI Jun (Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 10  ページ： 106501.1-106501.6  発行年： 2018年10月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体酸化物燃料電池(SOFC)のようなセラミック電気化学デバイスは高い電気化学反応密度を必要とする。セラミック粒子と結合材料としてのUV硬化性樹脂から成るUV-ナノインプリントリソグラフィー(UV-NIL)プロセスを,SOFC用の高アスペクトパターン化セラミックを製造するために提案した。提案した方法を用いて,電気化学的に最適化したセラミック粒子で硬化できるUV硬化性結合材料を有するセラミックスラリーを成形した。最後に,UV硬化セラミックを焼結し,セラミック基板上にセラミックマイクロパターンを得た。本研究は,SOFC材料を汚染しないUV単量体と光開始剤を選択した。UV波長を吸収する高いセラミック濃度を含むにもかかわらず,UV-NILを行うために,光開始剤に対する単量体の適切な比率を調べた。焼結過程で最小の亀裂をもたらすセラミック粒子に対するUV硬化性樹脂の比率を見出した。最後に,セラミックピラーパターンの作製を実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *結合材料 ,  光開始剤 ,  *光重合型樹脂 ,  リソグラフィー ,  *パターン形成 ,  セラミック ,  *固体酸化物燃料電池 ,  スラリー ,  焼結 ,  電気化学反応
準シソーラス用語： *UV硬化性樹脂 ,  ナノインプリントリソグラフィー ,  *ミクロパターン形成 ,  UVナノインプリントリソグラフィー

分類 (1件)： 燃料電池  (YB04040V)

引用文献 (32件)：

• H. Y. Tu, Y. Takeda, N. Imanishi, and O. Yamamoto, Solid State Ionics 117, 277 (1999).
• S. Park, J. M. Vohs, and R. J. Gorte, Nature 404, 265 (2000).
• J. H. Lee, H. Moon, H. W. Lee, J. Kim, J. D. Kim, and K. H. Yoon, Solid State Ionics 148, 15 (2002).
• T. Suzuki, Y. Funahashi, T. Yamaguchi, Y. Fujishiro, and M. Awano, J. Alloys Compd. 451, 632 (2008).
• P. S. N. Baity, B. Budiana, and S. Suasmoro, IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 214, 012029 (2017)

タイトルに関連する用語 (7件)： UV硬化 ,  結合材料 ,  UVナノインプリントリソグラフィー ,  マイクロパターン ,  セラミック ,  作製 ,  プロセス