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J-GLOBAL ID：201802232018021667   整理番号：18A0133031

ダイヤモンド状炭素膜の化学構造と電気的特性【Powered by NICT】

Chemical structure and electrical characteristics of diamondlike carbon films

著者 (6件)： Takabayashi Susumu (Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Hayashi Hiroyuki (Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Yang Meng (Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Sugimoto Rintaro (Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Ogawa Shuichi (Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Takakuwa Yuji (Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 81  ページ： 16-26  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)膜の化学構造と電気特性の間の関係を明らかにした。DLC膜は光電子放出支援Townsend放電下のアルゴンへのメタンの種々の比率の雰囲気中で形成された。合成におけるメタン濃度上の膜の誘電定数の依存性は最大値を持つアーチ状。絶縁破壊強度が合成雰囲気に関係なく一定であり,両電気偏光に対してほぼ同じであった。膜のRamanスペクトルは五つの活性帯にデコンボリューションした。~2クラスタモデルと結合したRaman分析は,DLC構造を明らかにした。~2クラスタ模型は誘電体マトリックス海における浮遊.~2クラスタから構成されている。~2クラスタは,低メタン濃度で形成された膜は脂肪族であった。クラスタはメタン濃度の増加とともに芳香族になるまで成長した。欠陥またはダングリングボンドは同様に増加したが,高メタン濃度で形成された膜の水素で終端した。水素終端結合がDLC膜中の空間の大きな量を占め,内部歪を引き起こした。全DLC膜の誘電率は水素-炭素結合によって誘起された.~2クラスタのサイズ,マトリックス海材料の誘電定数,及び空間体積により決定した。絶縁破壊強度は.~2クラスタのサイズとマトリックス海におけるダングリングボンドの密度との間のバランスによって決定した。しかし,メタン濃度に及ぼすこれらの因子の依存性は反対のため,絶縁破壊強度はメタン濃度に関係なくほぼ一定であった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： プラズマCVD ,  アルゴン ,  誘電体 ,  水素 ,  DLC膜 ,  光電子放出 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  Ramanスペクトル ,  誘電率 ,  絶縁耐力 ,  ダングリングボンド ,  クラスタ ,  アルカン
準シソーラス用語： メタン濃度 ,  *化学構造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ダイヤモンド状炭素(DLC) ,  光電子放出支援プラズマ増強化学蒸着(PA PECVD) ,  Raman分光法 ,  ~2クラスタ模型 ,  誘電定数 ,  絶縁破壊強度

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンド状炭素 ,  化学構造 ,  電気的特性